發(fā)布時間：
2017-10-20 15:26:22
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簡單說的話，鋯靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜...鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鉻、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
主要應用在：
1、微電子領域
2、平面顯示器用靶材
3、存儲技術用靶材等
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